A funcionalidade de pesquisa está em construção.
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Temperature Insensitive Micromachined GaAlAs/GaAs Vertical Cavity Wavelength Filter Filtro de comprimento de onda de cavidade vertical GaAlAs/GaAs microusinado insensível à temperatura

Takeru AMANO, Fumio KOYAMA, Nobuhiko NISHIYAMA, Akihiro MATSUTANI, Kenichi IGA

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Resumo:

Um novo filtro de comprimento de onda insensível à temperatura que consiste em refletores Bragg distribuídos (DBRs) de GaAlAs / GaAs foi demonstrado. Este DBR microusinado é ajustado mecanicamente por expansão térmica diferencial. O deslocamento induzido por deformação de um espelho pode gerar funções de ajuste e corte de comprimento de onda com uma dependência de temperatura ajustável. Conseguimos controlar a dependência da temperatura neste filtro semicondutor microusinado, projetando adequadamente uma estrutura de cavidade vertical. A dependência de temperatura alcançada foi tão pequena quanto +0.01 nm/K, que é um décimo da dos filtros ópticos convencionais baseados em semicondutores. Além disso, um corte de comprimento de onda superior a 20 nm foi demonstrado após a conclusão da fabricação do dispositivo. Além disso, demonstramos um 4 4 matriz de filtros de cavidade vertical microusinados de múltiplos comprimentos de onda. A matriz de filtros de múltiplos comprimentos de onda com uma extensão de comprimento de onda de 45 nm foi fabricada gravando parcialmente uma camada de controle de comprimento de onda de GaAs carregada na superfície superior do dispositivo.

Publicação
IEICE TRANSACTIONS on Communications Vol.E84-B No.5 pp.1304-1310
Data de publicação
2001/05/01
Publicitada
ISSN online
DOI
Tipo de Manuscrito
Special Section PAPER (Joint Special Issue on Recent Progress in Optoelectronics and Communications)
Categoria
Dispositivos e módulos ópticos passivos

autores

Palavra-chave