A funcionalidade de pesquisa está em construção.
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Electrostatically Actuated Two-Dimensional Optical Scanner Having a High Resonant Frequency Ratio of Fast/Slow Axes Scanner óptico bidimensional acionado eletrostaticamente com uma alta relação de frequência ressonante de eixos rápidos/lentos

Hiroshi NOGE, Yosuke HAGIHARA, Kiyohiko KAWANO, Hideki UEDA, Takaaki YOSHIHARA

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Resumo:

Foram desenvolvidos scanners ópticos ressonantes bidimensionais acionados por pentes eletrostáticos verticais com uma estrutura de isolamento elétrico exclusiva. O isolamento na estrutura móvel ao redor do espelho gimbal de 1 mm de diâmetro é feito abrindo valas na camada superior de silício de um wafer SOI, deixando as espessas camadas inferiores. Graças à grande massa do quadro, as frequências de ressonância variam de 65.0 a 89.2 Hz para o quadro e de 11.9 a 36.8 kHz para o espelho em um formato de 4 mm.Chip de 4mm. A relação de frequência resultante dos eixos rápido/lento atinge mais de 500 e uma relação de frequência tão alta é utilizada para exibir imagens QVGA por varredura raster de um feixe de laser.

Publicação
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E91-C No.10 pp.1611-1615
Data de publicação
2008/10/01
Publicitada
ISSN online
1745-1353
DOI
10.1093/ietele/e91-c.10.1611
Tipo de Manuscrito
Special Section INVITED PAPER (Special Section on Electronic Displays)
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Palavra-chave