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Indirectly Reactive Sputtering Coater for High Quality Optical Coatings Coater de pulverização catódica indiretamente reativa para revestimentos ópticos de alta qualidade

Kei-ichi C. NAMIKI, Xinbin CHENG, Haruo TAKAHASHI

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Resumo:

Um dispositivo de revestimento por pulverização catódica indiretamente reativo foi desenvolvido para depositar vários filmes metálicos e de óxido metálico de alta qualidade com alta taxa de deposição. Nesta carta, vários tipos de filtros, como revestimento anti-reflexo (AR), filtro de corte IR e filtro Rugate, foram depositados para o teste de referência de capacidades implementadas. Nosso revestidor foi estabelecido para ser uma ferramenta poderosa para filtros multicamadas discretos e Rugate devido à alta estabilidade e reprodutibilidade do índice de refração e da taxa de deposição.

Publicação
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E91-C No.10 pp.1673-1674
Data de publicação
2008/10/01
Publicitada
ISSN online
1745-1353
DOI
10.1093/ietele/e91-c.10.1673
Tipo de Manuscrito
Special Section LETTER (Special Section on Functional Thin Films for Optical Applications)
Categoria

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Palavra-chave