A funcionalidade de pesquisa está em construção.
A funcionalidade de pesquisa está em construção.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Characterisation of Offset Lithographic Films Using Microelectronic Test Structures Caracterização de Filmes Litográficos Offset Utilizando Estruturas de Teste Microeletrônicas

Anthony J. WALTON, J. Tom M. STEVENSON, Leslie I. HAWORTH, Martin FALLON, Peter S. A. EVANS, Blue J. RAMSEY, David HARRISON

  • Exibições de texto completo

    0

  • Cite isto

Resumo:

Este artigo relata o uso de estruturas de teste microeletrônicas para caracterizar uma nova técnica de fabricação de placas de circuitos eletrônicos de filme fino. Nesta tecnologia, as trilhas de circuito são formadas em substratos semelhantes a papel, depositando filmes de tinta carregada de metal por meio de um processo de impressão litográfica padrão. A resistência da folha e a largura de linha para linhas horizontais e verticais são avaliadas eletricamente e comparadas com medições de perfil óptico e de superfície.

Publicação
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E82-C No.4 pp.576-581
Data de publicação
1999/04/25
Publicitada
ISSN online
DOI
Tipo de Manuscrito
Special Section PAPER (Special Issue on Microelectronic Test Structures)
Categoria

autores

Palavra-chave