A funcionalidade de pesquisa está em construção.
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A Novel Displacement Sensor Based on a Frequency Delta-Sigma Modulator and its Application to a Stylus Surface Profiler Um novo sensor de deslocamento baseado em um modulador Delta-Sigma de frequência e sua aplicação a um perfilador de superfície de ponta

Koichi MAEZAWA, Umer FAROOQ, Masayuki MORI

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Resumo:

Um novo sensor de deslocamento foi proposto baseado em um modulador delta-sigma de frequência (FDSM) empregando um oscilador de microondas. Para demonstrar a operação básica, fabricamos um perfilador de superfície da ponta usando um ressonador de cavidade cilíndrica, onde uma extremidade da cavidade é substituída por um diafragma de metal fino com uma ponta de sonda da ponta. Um bom perfil de superfície foi obtido com sucesso com este dispositivo. Uma trincheira de profundidade de 10 nm foi claramente observada juntamente com uma trincheira de 10 µm trincheira em uma única varredura sem controle de ganho. Este resultado demonstra claramente uma faixa dinâmica extremamente ampla dos sensores de deslocamento FDSM.

Publicação
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E106-C No.9 pp.486-490
Data de publicação
2023/09/01
Publicitada
2023/03/16
ISSN online
1745-1353
DOI
10.1587/transele.2022ECS6013
Tipo de Manuscrito
BRIEF PAPER
Categoria
Circuitos eletrônicos

autores

Koichi MAEZAWA
  University of Toyama
Umer FAROOQ
  University of Toyama
Masayuki MORI
  University of Toyama

Palavra-chave