A funcionalidade de pesquisa está em construção.
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Strain Effects in van der Pauw (VDP) Stress Sensor Fabricated on (111) Silicon Efeitos de tensão no sensor de tensão van der Pauw (VDP) fabricado em (111) silício

Chun-Hyung CHO, Ginkyu CHOI, Ho-Young CHA

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Resumo:

Fabricamos sensores de tensão VDP (van der Pauw) em (111) superfícies de silício. Este trabalho concentra-se no estudo dos efeitos de deformação em sensores de tensão VDP, que foram geralmente ignorados em trabalhos anteriores, para medições precisas de tensões em matrizes em pacotes eletrônicos. Observou-se que a sensibilidade ao estresse é aproximadamente 10% maior para sensores VDP tipo p em comparação com sensores VDP tipo n.

Publicação
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E93-C No.5 pp.640-643
Data de publicação
2010/05/01
Publicitada
ISSN online
1745-1353
DOI
10.1587/transele.E93.C.640
Tipo de Manuscrito
BRIEF PAPER
Categoria
Sensores

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